3 micron kremíka založené vidlica prst elektródy plyn vlhkosť biosensor čip

1,Form factor: 4 mm*7mm*0. 52mm.

2,Linky šírka: 5 m,riadkovanie: 3um,Prst dĺžka: 1,6 mm,Prst páry: 75(150 prsty).

3,Elektródy substrát je monokryštalické kremíka, kremík uhličitého sa pestuje na povrchu kremíkových plátkov čipov, hrúbka je 300nm;

4, Kovové vrstvy štruktúry: Ti/Au, hrúbka 30nm, 100nm resp.;

5,Elektródy teplotný rozsah: -150℃~500℃;

6,používa Hlavne v rôznych chemických, fyzikálnych a zdravotníckych senzory, spoľahlivý výkon a stabilnú kvalitu.